人在活動如行走，站起等活動中都會產生靜電，人體是最為常見的靜電源，因靜電會減少產品優率,電磁干擾會中斷自動設備運行,靜電吸附會增加表面微粒收集的難度,因此對靜電的產生進行控制也是必要的。因為靜電電荷事實上會把污染物吸附在產品或工具表面,靜電吸附正變為潔凈室觀注的焦點。

在電子工業潔凈廠房中的靜電危害主要表現在:

1.吸附灰塵。由于靜電吸附作用，潔凈室內空氣微粒吸附在電子元器件表面和墻壁表面，影響產品質量和潔凈度。靜電也成為潔凈室新的發塵源。

2.誘發火災與爆炸。電子工業潔凈室中會大量使用易燃易爆氣體、液體和有機溶劑，靜電會成為這些氣（液）體和溶劑的引火源，引起火災或爆炸。 

3.電暈放電，或火花放電，發出噪聲，干擾電子設備和電子元器件。

4.產生靜電電場，使電子元器件短路、疲勞或破損。

要控制人體靜電，最有效的措施是讓人體與大地相“連接”即“接地”。因此，人要穿上防靜電復合膠板，并用防靜電接地線接好地，如經費充足，可選用防靜電活動地板防靜電鞋。要保持人體與大地相連，這就要求地面也是防靜電的才可以將人體的靜電導入大地，所以地面可以用防靜電地墊，特別是在規劃設計機房廠房時可以考慮選用防靜電活動地板，如果機房廠房已定且設備也已安裝好，又不想因裝防靜電器材時對這些設備造成停產等到影響時還時選用既價格低廉施工簡單的防靜電地墊，防靜電復合膠板等。

具體的防靜電措施如下：

1.建立標準的接地系統。

2.人員的靜電防護。工作在潔凈室內的人是最大的靜電源。

1） 操作人員穿戴防靜電潔凈服(如圖所示)、防靜電手套和手腕帶；

2）操作人員進行有關在靜電敏感器件周圍的行為控制的培訓。

3.潔凈室圍護結構的防靜電，圍護結構包括墻壁、門、窗、天花板、地面。所使用高導電率材料。

4.生產和操作區域采用防靜電地面。

1）地面面層具有導電性能，并保持長時間性能穩定；

2）表層采用靜電耗散材料；

3）采取鋪設接地網等靜電泄放措施。

5.濕度水平應得到控制，相對濕度應控制在40~70%較合適。

6. 生產區域、送風管道內、送風管口安裝離子風機。

7. 工作臺、座椅、推車、存放架、周轉箱、工具等的材料都要求具備防靜電功能。

8. 用以包裝靜電敏感器件的膠袋須具有防靜電功能。

9. 元器件、半成品、產品的轉運過程要求符合防靜電要求。

10.可能產生靜電危害的設備、流動液體（氣體）管道應采取防靜電接地措施。

11.減少摩擦作業，以減少靜電的發生。

12.定期對防靜電系統進行檢測和日常審核